Webcode: VAKUUM
Der Lehrgang behandelt die Grundlagen der Vakuumphysik und der Vakuumtechnik, die zum Verständnis vakuumtechnischer Vorgänge, zur richtigen Auswahl und zum effektiven Einsatz vakuumtechnischer Anlagen bzw. moderner Vakuumtechnologien oder zum Eigenbau von Vakuumkomponenten erforderlich sind.
Auf die Aspekte der treibmittelfreien Vakuumerzeugung, der Verminderung des H2O-Partialdruckes im Rezipienten, des Auffindens und Beseitigens verschiedener Lecktypen, die bei den modernen Vakuumtechnologien (z. B. in der Halbleiterindustrie, der Dünnschichttechnik bei der Entwicklung neuer Werkstoffe, in der Bio- und Medizintechnik sowie in der Mess- und Analysetechnik) eine große Rolle spielen, wird besonders eingegangen.
Zur Festigung der Kenntnisse der Teilnehmer und zum Sammeln eigener Erfahrungen auf dem Gebiet der Vakuumphysik und -technik ist der Lehrgang als Einheit von Vorlesung/Seminar einerseits und selbständiger praktischer Übung anhand von Versuchen andererseits angelegt. Eine enge Verflechtung von theoretischen Grundlagen und praktischer Anwendung wird dabei erreicht. Das Praktikum wird an moderner Gerätetechnik durchgeführt.
Anwender der Vakuumtechnik in Elektrotechnik, Elektronik, chemischer Industrie, Pharmazie, Apparate- und Anlagenbau, physikalischen und chemischen Forschungslaboratorien. Ingenieure, Techniker, Physiker, Chemiker, die mit vakuumtechnischen Geräten arbeiten bzw. die bei der Entwicklung und Planung neuer Verfahren Vakuum für moderne Technologien benötigen.
Der Lehrgang ist als erster und bisher einziger in Deutschland von der Deutsche Vakuumgesellschaft e.V. (DVG) zertifiziert. Das Zertifikat bestätigt die fachliche Aktualität des Lehrganges und damit die Übereinstimmung mit dem gegenwärtigen Stand der Technik sowie den Richtlinien der DVG.
Die DVG ist die deutsche Fachgesellschaft mit der Aufgabe der Betreuung wissenschaftlicher und technischer Disziplinen auf dem Gebiet der vakuumgestützten Wissenschaften und Technologien. Die DVG ist Mitglied der „Internationalen Union für Vakuum Forschung, Technik und Anwendung“ (IUVST).
Physikalische Grundlagen
Sorption und Gasabgabe von Werkstoffen, Vakuumhygiene (Verhaltensmaßregeln)
Vakuumerzeuger
Totaldruckmessung und Druckmeßfehler
Partialdruckmessung
Lecksuche, Leckratenbestimmung
Arbeitstechniken, Werkstoffe und Verbindungen in der Vakuumtechnik
Praktikum
Es werden 6 Wahlversuche durchgeführt. Dazu gehören Versuche zur Vakuumerzeugung im Vorvakuum- und Hochvakuumbereich (Turbomolekular-, Ionengetter- und Kryopumpen), zur Strömung im Vakuumsystem (Problematik effektiver Leitwerte), zur Totaldruckmessung und Kalibrierung, zur Partialdruckmessung und Auswertung von Spektren, zur Lecksuche, zur Gasabgabemessung an Dichtringen und zur Adsorption von Gasen. Die Vorlesungen/Seminare werden durch Problemdiskussionen ergänzt.
Dozententeam der TU Dresden, Fachrichtung Physik, Institut für Festkörperphysik.
EIPOS-Teilnahmebescheinigung
